適用于光學(xué)、半導(dǎo)體、光伏、顯示面板、光通信、光源等行業(yè)應(yīng)用。
長飛石英公司基于自主CVD合成工藝，使用SiCl4，有機(jī)硅烷等原料，結(jié)合多種純化及摻雜技術(shù)，制備高品質(zhì)合成石英材料，為客戶提供性能優(yōu)異、穩(wěn)定、可定制化的石英材料及產(chǎn)品。
|
型號 |
產(chǎn)品類型 |
典型尺寸 (mm) |
產(chǎn)品特性 |
|---|---|---|---|
|
YS-1220 |
石英錠 |
Φ150x100 |
長飛半導(dǎo)體用合成石英錠，基于多種合成石英制備工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能：
可充分滿足半導(dǎo)體、顯示面板、光伏生產(chǎn)中各工藝制程的應(yīng)用需求 |
|
Φ300x50 |
|||
|
400x400x50 |
|||
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YS-2230/YS-1230 |
500x500x60 |
||
|
YS-1240 |
Φ1000x30 |
||
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YW-1804/1806/1808/1812 |
石英晶圓 |
Φ150~300 最小厚度：0.05 |
|
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YSM-6025/YSM-6025R |
掩膜基板 |
152.4x152.4x6.35 |
|
|
YR-1220 / YR-1230 / YR-1240 |
石英棒 |
Φ2~200 最大長度：3000 |
|
|
YT-2220 / YT-2230 |
石英管 |
外徑范圍：15 ~ 90 壁厚范圍：1.0 ~ 30 最大長度：2000 |
?
典型的微量雜質(zhì)含量①（ppm）
| 型號 | Li |
Na |
K | Mg | Ca | Cu | Al | Cr | Fe | Ti | OH |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
YS-1320 / YS-1220 |
<0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ?≤0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.005 | <1 |
|
YS-2330 / YS-2230 |
<0.001 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.008 | <250 |
?
?
|
典型型號? |
典型尺寸 (mm) |
OH含量 (ppm) |
相對折射率 |
金屬雜質(zhì)含量(ppm) |
產(chǎn)品特性 |
|---|---|---|---|---|---|
|
YT-2120 / YT-2420 |
外徑范圍：Φ15 ~ 90 壁厚范圍：1.0 ~ 30 最大長度：2000 |
≤ 1 |
— |
≤ 0.05 |
長飛合成石英管，基于合成石英制備工藝及“無接觸法”管材拉制工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能與外形幾何指標(biāo)：
可滿足光纖預(yù)制棒制備、光源、醫(yī)療、工業(yè)等各行業(yè)對石英玻璃的嚴(yán)苛應(yīng)用要求 |
|
YT-2121 / YT-2421 |
≤ 1 |
-0.35% ~ 0 |
|||
|
YT-2110 / YT-2410 |
≤ 0.1 |
— |
|||
|
YT-2130 |
50 ~ 200 |
— |
|||
| YT-1121* | — |
≤ 1 |
-1.1% ~ 0 |
||
|
YR-1120 |
石英棒 |
≤ 1 |
— |
||
|
YR-1140 |
>1（可定制） |
— |
?
幾何規(guī)格與精度（單位：mm）
| 主要參數(shù) | 襯管 | 小規(guī)格套管 | 大規(guī)格套管 |
|---|---|---|---|
|
外徑OD |
15 ~ 40 | 40 ~ 60 | 60 ~ 90 |
|
壁厚WT |
1.0 ~ 10 | 2 ~ 15 | 10 ~ 30 |
| 外徑公差 | ± 0.80 | ± 0.80 | ± 2.00 |
| 壁厚公差 | ± 0.30 | ± 0.30 | ± 3.00 |
| 不圓度 | ≤ 0.15 | ≤ 0.40 | ≤ 0.40 |
| 偏壁 | ≤ 0.15 | ≤ 0.45 | ≤ 0.45 |
| CSA偏差 | ≤ 6.0% | ≤ 6.0% | ≤ 6.0% |
| 弓曲(mm/m) | ≤ 0.70 | ≤ 0.70 | ≤ 0.70 |
| 長度 | ≤ 2000 | ≤ 2000 | ≤ 2000 |
注：高精度管可定制規(guī)格
?
|
型號 |
產(chǎn)品類型 |
OH含量(ppm) | 光學(xué)均勻性(ppm)① |
應(yīng)力雙折射 (nm/cm)① |
條紋等級③ |
熒光④ |
氣泡② |
雜質(zhì)含量(ppb) |
產(chǎn)品特性 |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
YS-1320 |
石英錠 |
<1 |
≤5 |
≤5 |
5 |
輕微藍(lán) |
0 |
≤ 100⑤ |
長飛光學(xué)用合成石英錠，基于一步法、兩步法等多種合成石英制備工藝，具備優(yōu)異且穩(wěn)定的各項理化性能：
可充分滿足精密光學(xué)、激光等多種光學(xué)應(yīng)用需求 |
||
|
YS-2330 |
<250 |
≤5 |
≤5 |
5 |
無 |
||||||
①：可根據(jù)用戶需求定制更低應(yīng)力雙折射產(chǎn)品
②：0級標(biāo)準(zhǔn)：每100cm3玻璃中氣泡橫截面的總和不超過 0.015mm²，最大顆粒直徑滿足1/1*0.08
③：條紋等級參照ISO-10110
④：使用254nm泵燈激發(fā)
⑤：標(biāo)準(zhǔn)值≤100ppb，典型值≤20ppb
|
型號 |
S① |
H2 |
H5 |
H10 |
|---|---|---|---|---|
|
YS-1320 |
≤ 1 |
≤ 2 |
≤ 5 |
≤ 10 |
|
YS-2330 |
≤ 1 |
≤ 2 |
≤ 5 |
≤ 10 |
①S級可根據(jù)需求定制提供
②不同光均等級，對應(yīng)于相應(yīng)的尺寸，詳細(xì)指標(biāo)可與長飛公司聯(lián)絡(luò)確認(rèn)?
注：測試為材料90%區(qū)域
?
|
型號 |
熱吸收系數(shù)@1064nm(ppm/cm) |
|---|---|
|
YS-1320 |
<1 |
|
YS-2330 |
<3 |
注：熱吸收系數(shù)測試采用偏轉(zhuǎn)法（1064nm），檢測結(jié)果僅基于本公司的標(biāo)準(zhǔn)與方法
?
折射率①
| 譜線波長（nm） | 折射率 | 譜線波長（nm） | 折射率 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| YS-2330 | YS-1320 | YS-2330 | YS-1320 | |||
| 194.2 | 1.559066 | 1.559033 | 632.8 | 1.457158 | 1.457106 | |
| 365 | 1.474671 | 1.474616 | 643.8 | 1.456845 | 1.456794 | |
| 404.6 | 1.469755 | 1.469702 | 656.3 | 1.456506 | 1.456458 | |
| 435.8 | 1.466831 | 1.466778 | 706.5 | 1.455286 | 1.455232 | |
| 479.9 | 1.463639 | 1.463592 | 852.1 | 1.452608 | 1.452558 | |
| 486.1 | 1.463261 | 1.463220 | 1013.98 | 1.450390 | 1.450338 | |
| 546.1 | 1.460218 | 1.460163 | 1529.6 | 1.444422 | 1.444361 | |
| 587.6 | 1.458602 | 1.458549 | 1970.1 | 1.438731 | 1.438667 | |
| 589.3 | 1.458542 | 1.458492 | 2325.4 | 1.433034 | 1.432974 | |
①：測試條件：20.0℃，1atm大氣壓，濕度50.0%
?
Sellmeier方程色散常數(shù)
| 型號 |
B1 |
C1 |
B2 |
C2 |
B3 |
C3 |
B4 |
C4 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YS-2330 | 0.124307 | 0.006456 | 0.823954 | 0.006473 | 0.156097 | 0.017157 | 0.673277 | 74.923787 |
| YS-1320 | 0.112372 | 0.006311 | 0.811965 | 0.006294 | 0.179903 | 0.016600 | 0.697481 | 77.351514 |
Sellmeier Equation：n2-1=B1λ2/(λ2-C1)+B2λ2/(λ2-C2)+B3λ2/(λ2-C3)+B4λ2/(λ2-C4)，λ in μm
| 參數(shù) | 單位 | 測試結(jié)果 |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm3 | 2.20 |
|
莫氏硬度 |
- |
7 |
|
楊氏模量 |
GPa |
74.20 |
|
剪切模量 |
GPa |
31.22 |
|
泊松比 |
- |
0.17 |
|
抗壓強(qiáng)度 |
GPa |
0.113 |
|
抗拉強(qiáng)度 |
MPa |
49 |
|
彎曲強(qiáng)度 |
MPa |
94.3 |
?
| 參數(shù) | 單位 | 測試結(jié)果 |
|---|---|---|
| 介電常數(shù)(20°C,500MHz) | - | 3.90 |
| 電阻率(20°C) | ?·cm | 0.1*1018 |
| 介電損耗角度(tanδ,500MHz) |
- |
< 0.001 |
| 電阻 | ? | 8.0*1015 |
?
| 參數(shù) | 單位 | YS-1320 | YS-2330 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)變點(η=1014.5dPa·s) | °C | 1070 | 1000 |
| 退火點(η=1013dPa·s) | °C | 1200 | 1160 |
| 軟化點(η=107.6dPa·s) | °C | 1680 | 1620 |
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